本发明提供了一种毛细管放电极紫外光刻双真空光源装置，涉及极紫外光刻光源技术领域，旨在解决陶瓷毛细管放电时，产生电极碎屑

本发明公开了一种毛细管放电等离子体耦合发光结构，涉及极紫外光刻领域，旨在解决现有技术中发光功率低，杂光多的问题，采用的技术方案是，包括毛细管，毛细管位于放电室内，毛细管两端分别设有第一电极和第二电极，且第一电极和第二电极连接电源形成回路...