本发明公开了一种实现悬空波导的方法及其制作工艺，包括以下制作工艺步骤：S1：对硅或者氮化硅波导等波导层进行波导的制作；S2：通过等离子体化学气相沉积部分上包层；S3：对悬空结构开孔刻蚀；S4：对悬空结构进行侧向刻蚀；S5：采用USG o...

本发明提供一种能够实现双层波导的方法，包括以下步骤：S1：第一次光刻；将光刻胶涂覆在硬掩膜层表面，以暴露出硬掩膜层，再通过刻蚀将暴露出的硬掩膜层及下包层进行蚀掉，完成硬掩膜层及下包层的刻蚀；S2：第二层光刻及下包层刻蚀；清洗完剩余的光刻...

本发明涉及光纤通讯技术领域，具体公开一种实现CWDM的光收发器，包括第一芯片和第二芯片，所述第一芯片连接多路光纤阵列，所述第一芯片上设置第一多路调制器和多路探测器，所述第二芯片上设置两组多路分配器，所述第一多路调制器与所述第二芯片一组多...

本发明涉及芯片封装测试领域，具体公开一种实现FA端口对准的方法，该方法包括：通过光纤阵列的一个或者多个端口将光导入到硅光芯片环形波导中，所述环形波导具有y型分束器，以将光在y型分束器的位置分离成两路；当两束光在波导中传播一周后，在y型分...