本发明公开了一种制备圆筒零件内表面涂层的脉冲磁控溅射装置，包括靶材座，其一端设置有一个永久磁铁，所述的靶材座的另一端设置有另外一个永久磁铁，两个永久磁铁的磁极方向相同，两个永久磁铁之间通过磁铁隔板隔开；所述的靶材的一端套设在靶材座上；所...

本发明公开了一种在硬质合金刀具表面制备晶态Al2O3涂层的方法，其制备步骤包括：1)将硬质合金刀片进行超声清洗，去除表面的油污；2)将硬质合金刀片装入真空室的靶台上，然后抽真空；3)将靶台及硬质合金刀片加热；4)将Ar与O2的混合气体通...

本发明公开了一种纳米晶复合涂层的制备方法，通过等离子体浸没离子注入与沉积法制备纳米晶复合涂层，其具体步骤为：1)真空室抽真空；2）Ti阴极和SiAl阴极通过电弧放电产生Ti、Si、Al等离子体；3）真空室内通N2和C2H2；4）偏压吸引...