本发明公开了一种结构紧凑、性能稳定的射频离子源，包括安装座，安装座上设有陶瓷底座，陶瓷底座上设有陶瓷放电腔，离子引束系统安装在陶瓷放电腔中并固定在陶瓷底座上，安装座上设有上安装架，上安装架中在陶瓷放电腔的外部套设有耦合天线线圈，上安装架...

本发明涉及一种离子束抛光系统的运输装置。运输装置包括导轨组件、用于安装工件的运输车、直线运动模组、控制单元和连接机构，导轨组件包括第一直线导轨和第二直线导轨，运输车设置在导轨组件上。当滑块滑动至运输车附近时，控制单元能够控制连接机构将滑...

本发明涉及一种离子束加工工件的误差补偿方法。误差补偿方法包括以下步骤；1）测量获取加工工件样本的第一面形数据；2）将加工工件样本进行离子束加工；3）对加工后的加工工件样本进行测量，获取第二面形数据；4）计算获得面形去除数据，将面形去除数...

本发明涉及一种离子束刻蚀机。离子束刻蚀机包括真空工作腔室、工件安装平台、多轴运动系统、离子源，多轴运动系统包括多个依次连接的直线运动模组，相邻的直线运动模组之间相互垂直，直线运动模组包括直线导轨和直线运动元件，后级直线运动模组与前级直线...