本技术公开了一种带风冷功能的金刚石单晶片平面研磨装置，包括研磨机构和风冷机构，所风冷机构包括给风机构和出风机构，所述出风机构包括多个出风通道，且多个所述出风通道连通设置，所述给风机构与所述出风通道连通，所述给风机构为所述出风通道提供冷却...

本发明公开了一种竖直耦合式的金刚石薄膜沉积设备。金刚石薄膜沉积设备包括：反应气体供给单元、电磁波激励单元、真空发生单元和谐振腔体，反应气体供给单元、电磁波激励单元、真空发生单元与谐振腔体连接。本发明提供的一种竖直耦合式的金刚石薄膜沉积设...