本发明公开了一种单晶炉氩气尾气处理装置及其处理方法，属于惰性气体净化回收技术领域，能够解决现有处理方式中由于经过加氢除氧工艺而导致安全隐患较大的问题。所述装置包括：第一反应器的入口连接有尾气输送管和空气输出管；尾气输送管上设置流量计；空...