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孙颖睿专利技术
孙颖睿共有1项专利
一种用于脉冲镀铜工艺的工作液补充方法技术
本发明公开一种用于脉冲镀铜工艺的工作液补充方法,包括步骤:每间隔25‑35天,取工作槽内槽液总体积的8‑12%,通过膜过滤系统过滤得到清液和浓液,将清液中加入适量抑制剂和整平剂作为新的工作液补充至工作槽,浓液排出;其中,所述膜过滤系统用...
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