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用于STI工艺的抛光浆料组合物制造技术

本发明涉及一种用于STI工艺的抛光浆料组合物，更具体地，涉及一种用于STI工艺的抛光浆料组合物，包括：抛光液，其包括抛光粒子；以及添加液，其包括具有酰胺键的聚合物的氮化膜抛光抑制剂。

最后更新日期：2020-08-07 21:21 访问量：27
用于STI工艺的抛光浆科组合物制造技术

本发明涉及一种用于STI工艺的抛光浆料组合物，更具体地，涉及一种用于STI工艺的抛光浆料组合物，包括：抛光液，其包括抛光粒子；以及添加液，其包括具有酰胺键的聚合物的多晶硅膜抛光抑制剂。

最后更新日期：2020-08-05 02:57 访问量：25