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数字光学MEMS公司专利技术
数字光学MEMS公司共有1项专利
微机电系统电触点系统和方法技术方案
本发明涉及一种微机电系统(MEMS)器件,所述器件可设置有一个或多个烧结电触点。所述MEMS器件可为MEMS致动器或MEMS传感器。所述烧结电触点可为银糊剂金属化电触点。所述烧结电触点可通过以下步骤形成:在被释放的MEMS器件的晶片上沉...
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