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石远军专利技术
石远军共有1项专利
一种半导体生产用镀膜装置制造方法及图纸
本技术涉及半导体技术领域,且公开了一种半导体生产用镀膜装置,包括底板、支撑腿,所述底板上方设置有夹持机构,所述夹持机构包括有放置板、连接板、螺纹杆、夹持板、移动板,所述放置板顶部与连接板底部固定连接,所述连接板内壁与螺纹杆外壁螺纹连接,...
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