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仕万益上海材料科技有限公司专利技术
仕万益上海材料科技有限公司共有1项专利
一种新型铝蚀刻液制造技术
本发明公开了一种新型铝蚀刻液,属于半导体封装技术领域。该蚀刻液按质量分数计包含以下组分:磷酸10%‑50%、氧化剂1%‑10%、缓冲剂1%‑10%、催化剂0.01%‑1%,络合剂0.01%‑1%,余量为水。本发明通过催化剂与氧化剂协同作...
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