本实用新型涉及研磨加工设备技术领域，公开了一种超精密高效硅片双面研磨设备，包括机壳，所述机壳的顶端一侧设有支架，所述支架的顶端设有气缸，所述气缸贯穿支架且底端连接有上研磨盘，所述上研磨盘正下方的机壳上设有支撑座，所述支撑座上设有下研磨盘...

本实用新型涉及硅片研磨技术领域，公开了硅片研磨液小型氮气加湿装置，包括氮气加湿机构与氮气加湿出气安装机构，所述氮气加湿机构与氮气加湿出气安装机构相连通，所述氮气加湿出气安装机构设置在研磨装置的两侧，且所述氮气加湿出气安装机构包括安装框，...

本实用新型涉及晶圆位置的矫正技术领域，公开了一种多尺寸晶圆对中装置，包括底座，所述底座的顶端两侧均设置有立柱，所述立柱的顶端的设置有气爪，所述气爪的顶端连接有活动块，其中一个所述活动块的顶端固定有上对中卡具，另一个所述活动块的顶端固定有...

本实用新型涉及半导体制造技术领域，公开了一种半导体晶圆制造显影预对准装置，包括底座，所述底座的顶端中部设置有主轴，所述主轴的顶端设有支撑座，所述支撑座上设置有正性光阻，所述正性光阻的两端设置有固定机构，所述固定机构将半导体晶圆卡接在正性...

本实用新型涉及晶圆清洗技术领域，公开了一种用于晶圆背面的液体防护结构，包括固定板，所述固定板的一侧两端均设有连接块，两个所述连接块间设置有丝杆，所述丝杆的中部设置有传动机构，且所述丝杆包括左丝杆与右丝杆，所述左丝杆与右丝杆上均套设有丝杆...

本实用新型涉及喷淋设备技术领域，涉及一种3D玻璃显影机活动喷淋装置，包括进水管、对个喷淋管、万向阀及多个喷嘴，进水管呈L型，L型进水管的竖管的顶部安装有万向阀，多个喷淋管上端并排安装在进水管L型的横管上，每个喷淋管上安装有多个喷嘴。万向...

本实用新型涉及喷淋摇摆装置技术领域，具体涉及一种3D玻璃显影机水平喷淋摇摆装置，包括传动杆件、曲柄结构、曲柄短轴、曲柄长轴、摇摆电机、联轴器、第一轴承、第二轴承，曲柄短轴与所述曲柄长轴同时连接在所述曲柄结构上形成凸轮连杆结构。摇摆电机通...