本发明公开了一种背面栅极石墨烯FET生物传感芯片及其制备方法，包括：采用ICP蚀刻和化学镀铜工艺，并在蚀刻孔洞区域内镀满Cu，形成含Cu连接位点连接源极和漏极；在晶圆背面含Cu部分和栅极重叠区域进行开孔，并镀铜，使开孔区域铜Cu与孔洞中...