本实用新型涉及压力测量技术，具体公开一种压力数字化采集前端，包括：结构相同的两组振荡分频电路，经过接线端子连接电容式压力传感器，产生两路符合精确度等级要求的脉冲信号；主控电路，接收两路振荡分频电路的输出信号，测量两路脉冲宽度及采集前端温...

本发明涉及自动控制领域中分散控制站、分布式控制系统、可编程逻辑控制器等的背板组件，具体公开一种多串行总线无源背板。它包括电源背板，控制器背板，Ｉ／Ｏ背板，背板延长器，终端匹配模块，其中终端匹配模块与末端Ｉ／Ｏ背板相连；总体采用多串行总线...

本发明属于控制系统技术，具体地说是一种等离子增强化学气象沉积设备的控制方法。它包括设备初始化控制、晶圆加工流程控制、设备异常报警控制，其中：设备初始化控制步骤为启动设备电源，打开报警监控，并发送传片腔和反应腔的初始化指令；晶圆加工流程控...