沈阳鹏程真空技术有限责任公司专利技术

沈阳鹏程真空技术有限责任公司共有34项专利

  • 一种真空设备中做三维移动的样品实验台,涉及一种真空设备实验台,所述实验台包括一根固定管连接固定法兰、安装法兰、从动齿轮以及定齿轮置于整个装置中心位置,磁流体电机通过磁流体电机座连接于安装法兰之上,并在下方接有一个主动齿轮,定齿轮啮合传动...
  • 一种高真空低温金属测试装置,涉及一种金属测试装置,所述测试装置CF200分子泵与闸板阀通过腔体过渡管连接在真空腔体上;气缸通过磁流体连接在真空腔体上;磁流体通过连接杆与样品托旋转盘连接;气缸通过波纹管密封组件与样品托相连接;高温加热系统...
  • 一种高温真空压力测试装置,涉及一种测试装置,所述测试装置包括真空室、承压装置、液压控制系统、压力传感器、机械泵、屏蔽系统、加热系统、PLC控制器单元、电极、底架;机械泵通过波纹管与真空室通过胶圈密封连接,真空室同支杆通过螺栓锁紧连接在同...
  • 一种高速摩擦磁力密封测试装置,涉及一种测试装置,所述装置是由腔体底座将圆筒腔体和电阻轴固定在底架上方,通过电阻轴转动带动齿轮轴和被测试的磁力密封件高速转动,速度可调,同时由不锈钢进气管连接气瓶来维持圆筒腔体内的气压稳定,由不锈钢进油管连...
  • 一种高真空低温金属测试装置测试方法,涉及一种金属测试装置测试方法,所述测试装置测试方法,打开机械泵使其工作,接着打开真空腔体的旁抽阀和连接CF200分子泵的闸板阀,然后观察真空计显示的真空度,观看其变化;控制拉伸气缸(5)把安装好的样品...
  • 一种高速摩擦磁力密封测试装置测试方法,涉及一种装置测试方法,本发明测试装置由腔体底座将圆筒腔体和电阻轴固定在底架上方,通过电阻轴转动带动齿轮轴和被测试的磁力密封件高速转动,速度可调,同时由不锈钢进气管连接气瓶来维持圆筒腔体内的气压稳定,...
  • 一种薄膜生长实验用真空设备中三维移动样品台,涉及一种实验设备,所述样品台包括三根安装于真空室底部的圆柱导轨,圆柱导轨上设有一个固定平板,固定平板与圆柱导轨用直线轴承连接;固定平板上设有丝母,配合一根进给丝杆;固定平板下面安装X轴移动托板...
  • 一种小型真空磁控溅射镀镆实验机,涉及一种镀镆实验机,所述镀镆机包括真空室、支撑真空室的机台;真空室的上端法兰连接升降样品台总成,下端法兰连接磁控溅射靶总成;真空室的前端设有带观查窗的门,真空室的后端设有涡轮分子泵的接口;真空室的左侧设有...
  • 本实用新型涉及一种实验用设备,具体为一种实验用微型高真空单辊甩带机,其特征在于,所述甩带机包括设置于机台上的圆柱形真空室,圆柱形真空室顶部设有一个石英坩埚固定机构,该机构上设有行程可调的气缸,该石英坩埚固定机构上还设有角度调节组件,石英...
  • 一种带浇铸功能的微型电弧熔炼炉
    一种带浇铸功能的微型电弧熔炼炉,涉及一种电弧熔炼炉,所述电弧熔炼炉包括放置在机台上的半圆形真空室、设置在半圆形真空室顶部的双层水冷电极组件及真空获得系统;水冷电极组件的下端设有钨电极、水冷电极组件的上端安装有操作盒,半圆形真空室顶部设有...
  • 一种小型等离子体化学气相沉积装置
    一种小型等离子体化学气相沉积装置,涉及一种镀膜装置,所述装置主机位于机台上方,主机前面设有门,门上设有带挡板的观察窗和循环冷却水道;主机上端设有射频电源接入口和反应气体接入口,这两个接口共同接入导管,并连接匀气板与辉光发生板,辉光发生板...
  • 一种小型真空磁控三靶溅射镀镆机
    一种小型真空磁控三靶溅射镀镆机,涉及一种镀镆机,所述镀镆机包括有真空室、支撑真空室的机台、置于机台内部的电器控制系统及真空室的上盖、均布于上盖上的三个磁控靶,上盖上连接有两支气压支撑杆,真空室后面设有抽气管,抽气管中设有节流阀,抽气管的...
  • 一种小型等离子体化学气相沉积镀膜装置
    一种小型等离子体化学气相沉积镀膜装置,涉及一种镀膜装置,所述装置主机位于机台上方,主机前面设有门,门上设有带挡板的观察窗和循环冷却水道;主机上端设有射频电源接入口和反应气体接入口,这两个接口共同接入导管,并通过匀气板与辉光发生板接触;辉...
  • 一种小型真空磁控三靶溅射镀镆机
    一种小型真空磁控三靶溅射镀镆机,涉及一种镀镆机,所述镀镆机包括有真空室、支撑真空室的机台、置于机台内部的电器控制系统及真空室的上盖、均布于上盖上的三个磁控靶,上盖上连接有两支气压支撑杆,真空室后面设有抽气管,抽气管中设有节流阀,抽气管的...