一种气体离子源装置，其阳极由封闭的正面阳极和背面阳极构成阳极腔体，阴极由封闭的正面阴极和背面阴极构成阴极腔体；阴极腔体置于阳极腔体中，背面阴极与背面阳极构成气体放电离化室；阴极腔体中置有磁场发生装置，磁场发生装置与阴极腔体间空隙为冷却介...

一种用于生成化合物材料薄膜的源装置，属于真空技术领域。其结构包括真空法兰、气体活化源及粒子源，气体活化源一端连接有气体活化源用气体管，气体活化源另一端设有粒子源，在粒子源与气体活化源之间沿粒子源轴线设有外延管路。本实用新型的有益效果：可...