本技术为一种新型晶控探头，它包括探头本体和连接到探头本体上的管路，管路包括气动驱动管和水冷管，水冷管包括进水管和回水管，管路上设有用于将其安装在真空腔体上的穿透件；探头本体包括冷却壳体和设在冷却壳体内的晶振盘，进水管和回水管分别连通至冷...