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上海昕通半导体设备有限公司专利技术
上海昕通半导体设备有限公司共有6项专利
液体化学品输送集中控制独立输液装置制造方法及图纸
本实用新型涉及一种液体化学品输送集中控制独立输液装置,包括控制单元和供液设备单元,所述的控制单元包括通过电器元件相互连接的中央可编程控制器(PLC)和侦测感应系统,供液设备单元包括通过气动阀门(2)相互连接的气动隔膜泵(1)和流量感应器...
晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统技术方案
本实用新型涉及一种晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统,其输液管路(1)与储液箱(2)相连,储液箱(2)、泵(5)、至少3个反应槽(8)、储液箱(2)依次相连形成循环回路,所述的储液箱(2)依次通过泵(5)、手动阀门(6)、自动阀...
一种三层式管道加热块制造技术
本实用新型涉及一种三层式管道加热块,包括加热铝块,导热硅胶,气体管路及相应电器控制盒,所述的加热铝块与温度传感器组成闭环控制,所述的加热铝块包括左部加热铝块(1)、中部加热铝块(3)、右部加热铝块(5)之间有气体管路,中部加热铝块(3)...
多气种高纯气体集中控制独立吹扫系统技术方案
本实用新型涉及一种多气种高纯气体集中控制独立吹扫系统,包括气瓶柜、吹扫系统和气动控制管路,其特征在于:所述的气瓶柜至少为2个,所述的吹扫系统为分别与每个气瓶柜相连的独立输送吹扫装置,所述的气瓶柜通过气动控制管路和独立输送吹扫装置与集中控...
带自动吹扫的钯管氢气纯化器制造技术
本实用新型涉及一种带自动吹扫的钯管氢气纯化器,该纯化器由阀门V1-V10;纯化器,热交换器,流量计,单向阀及附带的控制系统组成。本实用新型通过阀门的组合开关分别实现在正常纯化过程中,在断电或其他紧急状况,在维护状态各种不同的功效。本实用...
晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统及方法技术方案
本发明涉及一种晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统及方法,其输液管路(1)与储液箱(2)相连,储液箱(2)、泵(5)、至少3个反应槽(8)、储液箱(2)依次相连形成循环回路,所述的储液箱(2)依次通过泵(5)、手动阀门(6)、自动...
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