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上海微松半导体设备有限公司专利技术
上海微松半导体设备有限公司共有1项专利
一种半导体封装设备搭载头压力控制机构制造技术
本发明涉及一种半导体封装设备搭载头压力控制机构,包括Z轴移动机构、 压头机构、弹簧、气缸、带气压表的气压控制阀以及用于测量弹簧伸长量的千分表, 所述的弹簧连接于Z轴移动机构和压头机构之间,所述的气缸固定于Z轴移动机 构上,该气缸的推杆与...
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