本发明提供一种双层悬浮红外热电堆的制备方法，通过基底中的第一牺牲层，以及在热电偶复合层中形成显露第一牺牲层的刻蚀窗口，从而通过具有较小宽度的刻蚀窗口即可形成具有较大宽度的隔热空腔，可提高热电堆的结构布局的灵活性，提高器件空间利用率；进一...