本申请提供了一种铌酸锂材料的干法刻蚀方法及铌酸锂波导。所述方法包括步骤：获取铌酸锂材料的晶圆，所述晶圆上具有待刻蚀图案的掩膜层；在所述晶圆上制备一层铝薄膜；将带有铝薄膜的晶圆进行退火处理；利用化学混合液去除铝薄膜，清洗烘干得到待刻蚀晶圆...

本申请提供了一种大线宽深沟槽平坦化方法，包括步骤：在具有所述大线宽深沟槽的衬底片上方淀积介质层；对所述介质层进行研磨，并将研磨产生的碎屑保留在所述沟槽中；重复上述淀积和研磨的步骤，直至形成平坦的表面。本申请还提供了一种包含使用该平坦化方...