本发明涉及一种自动晶圆表面平整度检测装置，以解决晶圆平整度检测装置需要通过人工干预进行测量，不便使用的问题，以获得整个晶圆面内精确的平整度信息，确保整个晶圆内曝光后的图形质量。该自动晶圆表面平整度检测装置，结构包括：壳体和支撑架，所述壳...

本发明涉及一种超精密力位混合数控系统，适用于T3构型超精密自由曲面磨床，并与超精密磨床伺服驱动系统进行数据通信。配备弧面砂轮，所述数控系统可实现三轴替代五轴进行自由曲面的少轴弧面磨削。所述数控系统包括软件和硬件两部分。更改相对坐标系，软...