专利查询
首页
专利评估
登录
注册
上海福讯光电有限公司专利技术
上海福讯光电有限公司共有1项专利
直线电机系统及其控制方法、应用该直线电机系统的光刻机技术方案
本发明涉及新兴机械加工技术领域,公开了一种直线电机系统,包括直线电机和伺服控制器,所述伺服控制器包括控制输入、主控制器、从控制器和两个伺服器。还公开了应用上述直线电机系统的光刻机以及直线电机系统的控制方法。本发明的伺服控制器实时监控直线...
1
科研机构数量排行前10
华为技术有限公司
109597
珠海格力电器股份有限公司
85461
中国石油化工股份有限公司
69767
浙江大学
66577
中兴通讯股份有限公司
62036
三星电子株式会社
60368
国家电网公司
59735
清华大学
47360
腾讯科技深圳有限公司
45028
华南理工大学
44136
最新更新发明人
江苏超盛汽车零部件有限公司
20
张家港中集圣达因低温装备有限公司
277
山东菏泽黄河工程有限公司
5
云南世诚环境技术有限公司
37
中国电子科技集团公司第十四研究所
1027
潍坊众邦制药有限公司
15
广州新想印刷纸品有限公司
4
重庆润通科技有限公司
325
成都先导药物开发股份有限公司
114
诸暨市同兴管业有限公司
19