本发明涉及膜制造方法。本发明的课题是提供成膜效率高且高品质的MgF2膜的成膜技术。解决手段是一种成膜方法，具备：对成膜室供给Mg源的步骤、及以氟化剂及氧化剂并存的方式对成膜室供给该氟化剂及该氧化剂的步骤。膜室供给该氟化剂及该氧化剂的步骤...