本发明描述了一种用于过滤离子束的滤质器设备。该设备包括用于发射离子束的离子束源，以及串联的第一和第二滤质器级，以接收来自离子束源的离子束。一真空系统将至少第二滤质器级维持在低于１０↑［－３］托的工作压力下。所述真空系统布置成将第一和第二...

本发明提供了一种泵装置（５０），其可用于在进行分析之前稀释样本（５２）。第一泵（５４）将样本泵入到混合区域（５８），在混合区域所述样本与稀释剂（６６）混合。第二泵（６４）将稀释了的样本泵入到分析仪器。稀释剂到混合器的流量等于样本到混合器...

本发明提供了一种用于表面分析的光谱仪（１０）及表面分析方法。光谱仪（１０）提供试样观察和与试样表面大体正交的二次带电粒子收集。收集腔室（２２）包括：二次带电粒子透镜装置（２０），其用于使发出的粒子在下游方向上沿第一正交轴线（２４）聚焦，...