在化学机械平坦化（ＣＭＰ）中使用的抛光垫片或者此类垫片的抛光组件／表面是由例如聚氨酯和聚烯烃的不可互溶聚合物的组合制成。基于界面相互作用、熔融指数和在聚合物相－基体相与分散相之间的熔融指数比来选择聚合物。通过选择聚合物体系使得所述两种聚...

一种抛光垫，包括在抛光垫表面上方彼此交叉的抛光单元。固定每个抛光单元以限制其相对于其它抛光单元的横向运动，但在与抛光单元的抛光表面垂直的轴上是可运动的。可将不同密度的抛光单元定位在抛光垫表面的不同区域内。

一种抛光垫，具有由具固有吸水能力的水凝胶材料制成的一个或多个抛光单元。该水凝胶材料可有或没有微孔，但具有按重量计为４％－６０％的吸水能力、大于１０００ｐｓｉ的湿的拉伸强度、大于２０００ｐｓｉ的挠曲模量以及在２５－８０之间的湿的Ｓｈｏｒｅ...