本发明提供一种冷却基板的基板冷却装置。本发明的实施例的基板冷却装置包括：卡盘，供放置基板；冷却单元，用于冷却所述卡盘，所述冷却单元包括：散热板，在上面放置所述卡盘，并散发所述卡盘的热。发所述卡盘的热。发所述卡盘的热。

一种用于处理由半导体材料制成的晶片的连续热处理站布局，对晶片进行多个甲酸处理步骤。将晶片装载入处于大气压力下的初始站处的腔室中，并利用氮气吹洗该腔室；在第一个随后的站（１）和第二个随后的站（２）处，将甲酸蒸气和氮气引入，其中在环境大气压...