本文的实施例涉及一种用于推导物体表面(3)的形貌的方法。将线偏振光波(102a、103a)朝向物体表面(3)和参考表面(2)引导。对多个波长获得反射的线偏振光波(102b、103b)的图像。所述图像是针对多个波长中的每个对于至少四个偏振...

本发明提供了一种定量测量区域的表面精度的方法。该方法包括将单色平光波朝向预设表面区域引导，用聚焦在所述表面区域上的相机和透镜系统记录反射光，从记录的图像中推导出表面精度参数。所述方法的特征在于通过获得所记录的图像的傅里叶变换来确定所述表...