本实用新型公开了一种计算机控制的化学机械抛光装置，涉及化学机械抛光技术领域，具体为一种计算机控制的化学机械抛光装置，包括抛光升降机构、转动柱、本体、注液管。该计算机控制的化学机械抛光装置，通过第二电动伸缩杆、清理板、转动板、传动柱以及自...