一种减震防漏油式真空泵，包括真空泵、接油盘、第一减震机构、第二减震机构，接油盘设置在真空泵的底座下方，第一减震机构的固定端穿过接油盘并与真空泵的底座固定连接，第一减震机构和真空泵的底座共同作用，将接油盘夹紧，以使接油盘与第一减震机构密封...

一种硅料无酸清洗方法包括以下步骤：将硅料放入超声波清洗机中，并将硅料清洗液和超纯水按照预定比例倒入超声波清洗机中，以浸没硅料；将硅料清洗液和超纯水的混合液加热至预定温度并对硅料进行超声波清洗，之后将废液过滤处理之后再次制成超纯水；将硅料...

一种减震防漏油式真空泵，包括真空泵、接油盘、第一减震机构、第二减震机构，接油盘设置在真空泵的底座下方，第一减震机构的固定端穿过接油盘并与真空泵的底座固定连接，第一减震机构和真空泵的底座共同作用，将接油盘夹紧，以使接油盘与第一减震机构密封...