本技术公开了一种用于提纯四氯化硅设备中使用的紫外光源，包括转化器，转化器上设置有密封孔；转化器的侧壁上设置有升降装置以及驱动结构，驱动结构安装在升降装置上，并用于控制驱动结构上升或下降；驱动结构包括挡板、滑动座、滑动套以及密封筒，滑动座...

本技术公开了一种去除四氯化硅中的三氯氢硅和二氯二氢硅的设备，包括文丘里喷射器、转化器、汽提塔和尾气处理装置，转化器内设置有紫外线光源；文丘里喷射器上具有出口E、入口H以及入口D，入口H连接有出口F；转化器上具有入口A、入口E、出口B、出...

本实用新型公开了一种生产四氯化硅的工艺气体除尘冷却装置，包括急冷器、旋风除尘器、文丘里洗涤器、冷凝器及粗四氯化硅储罐；急冷器与旋风除尘器连接，文丘里洗涤器一端与旋风除尘器连接，另一端与冷凝器连接，文丘里洗涤器与粗四氯化硅储罐连接；急冷器...

本实用新型公开了一种生产四氯化硅的反应器，包括氯化炉，氯化炉顶部具有入料管，入料管上安装有四氯化硅反应器；四氯化硅反应器包括中心管，中心管的外表面设置有高沸物蒸汽输送管，高沸物蒸汽输送管的外表面焊接有旋流输送管，旋流输送管的外表面设置有...

本实用新型公开了一种综合利用超细硅粉生产四氯化硅的反应器，包括氯化炉，氯化炉上具有入口及出口；入口处安装有进料筒，进料筒上连通有第一、二、三、四进料管，第一、二、三、四进料管均匀设置在进料筒上，并与进料筒相切，第一进料管与第二、四进料管...

本发明涉及四氯化锆生产技术领域，特别是涉及一种利用氧化锆生产四氯化锆的方法，其特征在于，利用氧化锆、碳化锆、氯气一步法反应生产四氯化锆。本发明的有益效果在于：使用一步法反应，反应为放热，可自发维持反应进行，不需要外加热源维持反应；固体原...

本发明涉及四氯化硅生产技术领域，特别是一种利用多晶硅废弃物生产四氯化硅的方法，其特征在于，利用氯硅烷混合物、氯化剂、催化剂，在0‑670kPa压力下，130‑320℃温度下生产四氯硅烷。本发明的有益效果在于，采用反应精馏技术实现了反应物...

本发明涉及四氯化锆生产技术领域，特别是涉及一种利用硅酸锆生产四氯化锆的方法，其特征在于，利用硅酸锆、碳化锆、氯气一步法反应生产四氯化锆。本发明的有益效果在于：使用一步法反应，反应为放热，可自发维持反应进行，不需要外加热源维持反应；固体原...