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纳侬斯桧布有限责任公司专利技术
纳侬斯桧布有限责任公司共有5项专利
分配器附件及其用于由激光光刻写入3D结构的装置的用途制造方法及图纸
本发明涉及分配器附件(38),特别是用于显微镜物镜的分配器附件(38),在用于借助激光光刻在光刻流体(22)中写入三维结构的装置(10)中的用途,光刻流体(22)可通过激光照射而固化。本发明还涉及一种适于放置到物镜(18)上的分配器附件...
通过激光光刻制造3D结构的方法及相应的计算机程序产品技术
本发明涉及一种用于通过激光光刻来制造三维整体结构(10)的方法,该整体结构(10)由至少一个部分结构(14)来近似,其中,为了写入部分结构(14),在利用多光子吸收的同时,在激光写入光束(28)的聚焦区域(26)中将曝光剂量辐射到光刻材...
制造三维结构的方法技术
本发明涉及一种借助结构化装置(10a,10b)制造三维整体结构(18)的方法,所述结构化装置在记录区(20)内具有预定的结构输入的主方向(16),其中通过以下方式定义所述整体结构(18),即,依序定义数个相互补充而整体形成所述整体结构(...
在蚀刻材料中制造三维结构的方法技术
本发明涉及一种在蚀刻材料中制造三维结构的方法,所述蚀刻材料可借助能量输入方法而聚合并由此而固化,其中,首先借助第一空间分辨型能量输入方法这样来聚合待制结构的外套壁,使得一定体积的未聚合蚀刻材料被围住,在中间显影步骤中移除已聚合于外套壁周...
在蚀刻材料中制造结构的方法技术
本发明涉及一种在蚀刻材料中制造结构的方法,其中借助曝光装置的记录束以依序记录数个子结构的方式在所述蚀刻材料中定义所述结构,其中为了记录所述子结构,依序移动并定位所述曝光装置的记录区并且每次在所述记录区内记录一个子结构,并且为了定位所述记...
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