本实用新型提供超硬纳米复合涂层的制备PVD设备。本实用新型提供了超硬纳米复合涂层的制备PVD设备，其通过总供电线路供电，复合PVD设备包括：一个壳体、一个工件架、一个离子源、一个分子泵、一个阴极电弧金属镀膜模块、一个阴极磁控溅射金属镀膜...

本发明提供超硬纳米复合涂层的制备PVD设备、方法及层结构。本发明提供了超硬纳米复合涂层的制备PVD设备，其通过总供电线路供电，复合PVD设备包括：一个壳体、一个工件架、一个离子源、一个分子泵、一个阴极电弧金属镀膜模块、一个阴极磁控溅射金...

一种电磁屏蔽红外透明的导电窗口结构，包括红外透明的光学窗口基板上淀积至少一层氮化物过渡层，在过渡层上淀积一个薄膜层，所述薄膜层为氮化镓层、氮化铝层的一种或两种依次叠加制成的薄膜。本实用新型采用在红外透明的光学窗口基板上淀积氮化镓/氮化铝...