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南京国微纳半导体设备有限公司专利技术
南京国微纳半导体设备有限公司共有1项专利
一种具有晶片防护机构的半导体镀膜设备制造技术
本发明涉及晶片镀膜领域,且公开了一种具有晶片防护机构的半导体镀膜设备,包括柜体和设置在柜体内的放置机构,所述放置机构包括设置在柜体内部的放置组件,所述放置组件上方设置有防护盖板组件,所述防护盖板组件上方设置有连接组件,本发明通过氩气气幕...
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