本技术公开了一种5光路检测芯片外观瑕疵的自动光学装置，属于半导体芯片外观瑕疵检测技术领域，包括：相机组件、反射组件、外同轴光源、位置调节机构，反射组件位于相机组件一侧，反射组件用于将芯片的成像光线反射给相机组件，外同轴光源设置于相机组件...