一种互连结构，包括：第一BEOL（后端工艺）层级，其包括第一MLG（多层石墨烯）层，第一MLG层包括至少一个MLG材料第一线结构；以及第一隔离层，其包括电绝缘材料并设置在所述至少一个MLG材料第一线结构的上方和旁边；第二BEOL层级，其...

一种插层掺杂装置，包括：反应室，其中单个或多个晶圆或基板(SoMWoSubs)设置在该反应室内，其中SoMWoSubs的直径或两侧边距为25mm至450mm；加热器，其中所述加热器被配置为向设置在所述反应室内的SoMWoSubs提供热量...