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MT系统公司专利技术
MT系统公司共有1项专利
采用高温湿法进行的蓝宝石减薄和平滑化制造技术
本发明提供一种用于使蓝宝石衬底减薄的方法,所述方法包括:将蓝宝石衬底置于预热槽中,以升高所述蓝宝石衬底的温度;将经预热的蓝宝石衬底置于温度为200~400℃、包含含有H2SO4和H3PO4中的至少一种的溶液的湿法蚀刻槽中;监测时间,以确...
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