一种微阀，其包括孔板和悬臂梁，该孔板包括孔，该悬臂梁与孔板以间隔的关系耦接并且能够在孔被悬臂梁关闭和打开的位置之间移动。悬臂梁包括一个或多个压电层，其有助于悬臂梁响应于应用在一个或多个压电层上的一个或多个电信号而弯曲。响应于一个或多个电...