本发明提供了一种针对透明样品的缺陷定位及三维检测方法。该发明基于显微成像和全息成像方法组合，首先利用非相干光源显微系统，对样品扫描成像，进行缺陷的筛查及定位；然后基于相干光源的全息干涉测量原理，对缺陷处进行全息图记录和重建，通过相位复原...