一种沉积室衬垫，该沉积室用于处理基板，具有底部及侧壁，且被室体盖覆盖以形成封闭空间，该侧壁上的适当位置设置有挂钩，衬垫具有呈矩形封闭外形的框体，覆盖沉积室的侧壁的内表面，该矩形框体具有四个侧边及四个角落，预定高度，以及至少１５５０毫米长...

一种气体混合器，用于混合被扩散至沉积室内以处理基板的工艺气体，该混合器设置于连接至该沉积室之入口的管件内，其具有：中央轴件，延伸于该管件内；至少两块挡板，以彼此间距方式结合至该中央轴件，且每一挡板覆盖该管件的部分剖面以在该中央轴件及该管...