本发明公开了一种激光辅助制备薄膜的方法及相应设备，属于薄膜材料制备领域。该方法将含有制备薄膜所需元素的气态先驱物通入等离子体发生装置，经等离子体发生装置活化后进入反应腔；激光发生装置发出的激光束，经反应腔壁上的透镜汇聚后也进入到反应腔；...

本发明公开了一种激光辅助制备纳米颗粒的方法及相应设备，属于纳米材料制备领域。该方法将气态先驱物通入等离子体发生装置，经等离子体发生装置活化后进入反应腔；激光发生装置发出的激光束，经反应腔壁上的透镜汇聚后也进入到反应腔，在反应腔内加热活性...