刘卫科专利技术

刘卫科共有2项专利

  • 本实用新型公开了一种高效便捷的无尘服清洗设备,涉及到半导体无尘服清洗技术领域。包括清洁箱,所述清洁箱的顶端设置有圆形通孔,所述圆形通孔的内部设置有过滤板,所述圆形通孔的顶端且位于所述清洁箱的顶端设置有进风斗。有益效果:通过设置有吹风机和...
  • 本实用新型公开了一种切割效率高的半导体晶圆片切割装置,涉及到半导体晶圆片切割技术领域。包括支撑台,所述支撑台的顶端设置有开口,所述开口的底端设置有出料板,所述开口的一侧设置有支撑板一和支撑板二,所述支撑板一和支撑板二的表面设置有螺旋杆,...
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