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林明农专利技术
林明农共有2项专利
奈米结构微型化的方法技术
本发明提供一种奈米结构微型化的方法,其步骤包含:在既定成长(型)于基材(substrate)上的奈米结构筒状细孔(pore)的顶部开口上,以原子或分子态的材料堆积黏着于该顶部开口,使其顶部开口的口径逐渐缩小而形成一较原有顶部开口口径为小...
使用半导体微影技术制备单电子电晶体的方法技术
一种使用半导体微影技术制备单电子电晶体的方法,其特征在于:包含以下步骤: (a)在成型于基材阻剂上的奈米结构筒状细孔的顶部开口上,先以原子或分子态的封口材料堆积黏着该顶部开口,使该顶部开口的口径逐渐缩小,形成一比原顶部开口的口径还小的奈...
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