本发明公开了晶圆表面清洁装置，属于清洁设备领域，包括底板和固定在其上端表面的n型架，所述n型架的内顶壁固定安装有空心管一，所述空心管一的内壁处插设有空心管二，所述空心管二的下端固定安装有驱动马达，所述驱动马达的输出端固定连接有十字板，所...