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梁肇文专利技术
梁肇文共有1项专利
光学波前检测装置及其检测方法制造方法及图纸
光学波前检测装置适于检测光学组件,光学波前检测装置包括转盘模块、光源模块以及波前感测模块。转盘模块适于转动光学组件。光源模块适于在光学组件转动时,提供入射光束适于入射至光学组件,并产生适于从光学组件出射的检测光束。波前感测模块适于在光学...
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