本文提供了用于将高纯度工艺气体气相输送至关键工艺或应用的方法、系统和装置。

提供了一种方法和一种化学品输送系统。该方法包括提供一个多组分液体源的蒸气相。该方法进一步包括：使一种预装载的载气与该蒸气相相接触，其中该预装载的载气包括一种载气和该多组分液体源的至少一种组分；并且将一种包括该液体源的至少一种组分的气体流...