本技术涉及离子束镀膜技术领域，公开了一种离子源引出装置，包括高压端法兰、抑制电极、地电极和地级法兰。使用时，通过高压端法兰和地级法兰的设置，将传统离子源引出装置的三层法兰结构改成了两层法兰结构，同时将传统离子源引出装置的电极安装座简化为...

本技术公开了一种石英微波窗，涉及金刚石加工设备技术领域。设置于波导转换器与弯波导之间，包括微波窗上盖、微波窗下盖和微波窗石英玻璃，微波窗石英玻璃设置于微波窗上盖与微波窗下盖之间的嵌槽内。通过石英微波窗结构的设置，能将微波窗的密封位置转移...