本发明公开了一种抛光垫，其包括在一侧具有粘附在其上的多孔浆液分布层而在另一侧具有可压缩下层的导板。穿过所述浆液分布层和所述导板彼此交叉从而相对彼此维持在平面取向的多个抛光元件和导板粘附于柔性的下层上，以及每个抛光元件在与所述浆液分布层相...