本发明公开一种硅片与蓝宝石片直接键合的方法，包括以下步骤：1)准备抛光后的硅片和蓝宝石片，在所述硅片的单面或者双面蚀刻应力释放槽；2)对所述硅片上具有应力释放槽的面进行等离子体活化处理，对所述蓝宝石片的单面进行等离子体活化处理；3)将所...

本发明提供了硅-蓝宝石差分电容式压力传感器，其采用蓝宝石-硅-蓝宝石直接键合构成对压力敏感的差分电容式核心部件，由于这两种材料都没有蠕变，避免了热应力通过蠕变产生的缓慢释放造成传感器特性长期稳定性变差，使压力传感器的长期稳定性得到提高，...

一种铅酸蓄电池剩余电量传感器，其特征在于：包含透明棒、反射镜、光发射器、光接收器、信号处理电路、自洁刷，所述的透明棒的底端安装有反射镜，所述的光发射器安装于透明棒的另一端，所述的光发射器旁边安装有光接收器，所述的光接收器与信号处理电路相...

一种高温压力传感器测试装置，其特征在于：包括耐高温承压套管，所述的耐高温承压套管的一端封闭另一端开口，所述的耐高温承压套管与金属连接件以卡套的形式密封连接，所述的金属连接件与陶瓷连接杆以卡套的形式实现密封连接，所述的陶瓷连接杆与压力传感...

一种铅酸蓄电池剩余电量传感器，其特征在于：包含透明棒、反射镜、光发射器、光接收器、信号处理电路、自洁刷，所述的透明棒的底端安装有反射镜，所述的光发射器安装于透明棒的另一端，所述的光发射器旁边安装有光接收器，所述的光接收器与信号处理电路相...

一种高温压力传感器，包括压力敏感芯体、高温烧结层、连接杆，所述的压力敏感芯体通过高温烧结层与连接杆相连，所述的连接杆的头部安装有铂-铑铂热电偶，用于测量温度并补偿热灵敏度漂移和热零点漂移，所述的连接杆的中部以卡套的形式与高温合金钢固定件...

本发明为一种高温压力传感器，其包括主芯片，所述主芯片具有位于第一层的衬底、位于第二层的弹性膜、位于第三层的一对金属电极及连接该对金属电极的敏感电阻层，所述高温压力传感器还具有与所述主芯片贴合的盖板，所述盖板具有开口朝向所述主芯片方向的收...

本发明提供了硅-蓝宝石差分电容式压力传感器及其制作方法，其采用蓝宝石-硅-蓝宝石直接键合构成对压力敏感的差分电容式核心部件，由于这两种材料都没有蠕变，避免了热应力通过蠕变产生的缓慢释放造成传感器特性长期稳定性变差，使压力传感器的长期稳定...

本发明为一种基于嵌入式微柱的超高加速度冲击传感器及其制备方法，其包括基片、位于所述基片上表面的金属浆料、焊接于所述金属浆料上的芯片，所述芯片包括质量块以及嵌入在所述质量块底部的圆柱形敏感微柱，所述敏感微柱与所述质量块为一体的且具有压阻效...