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昆山成邦电子有限公司专利技术
昆山成邦电子有限公司共有1项专利
一种半导体封装产品Particle移除系统技术方案
本发明公开了一种半导体封装产品Particle移除系统,涉及半导体封装技术领域,包括输送模块、USC除尘部、控制模块和Particle检测组件。本发明通过设置有工序内直接除尘的设计,无需对现有厂房进行大规模改造,设备投入成本远低于无尘室...
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